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参数 |
NPL-3 |
LGI-505 |
LGI-511 |
波长, μm |
0.337 |
0.337 |
0.337 |
脉冲能量, μJ |
30 |
120 |
240 |
平均功率, mW |
3 |
120 |
240 |
光束直径, mm |
2 |
5 |
5 |
脉冲重复频率: |
1-100 |
5-1000 |
1 -1000
|
脉冲宽度, ns |
5±1 |
8 ±2 |
8 ±2 |
尺寸, mm |
350x325x150 |
484x510x215 |
1140x525x345 |
重量, kg |
10 |
35 |
105 |
电压, V |
220 |
220 |
220 |
功率消耗, w |
50 |
1200 |
1500 |
制冷方式 |
风冷 |
水冷 |
水冷 |
工作温度, OC |
0...+40 |
0...+40 |
+10...+40 |
质保工作时间, h |
500 |
1000 |
500 |
氮分子激光器的发射带在UV波段,主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器,由于其独特的性能(波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W),被广泛应用于微电子领域如 光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亚微米量级的元件。此外,还被用于多种感光材料的高效曝 光光源。
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