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产品详情
氮分子激光器
产品参数

参数

 NPL-3

 LGI-505

 LGI-511

波长, μm

 0.337

 0.337

 0.337

脉冲能量, μJ

 30

 120

 240 

平均功率, mW

 3

 120

 240 

光束直径, mm

 2

 5

 5

脉冲重复频率:

 1-100

 5-1000

 1 -1000 

脉冲宽度, ns

 5±1

 8 ±2

 8 ±2

尺寸, mm

 350x325x150

 484x510x215

 1140x525x345

重量, kg

 10

 35

 105

电压, V

 220

 220

 220

功率消耗, w

 50

 1200

 1500

制冷方式

风冷

水冷

水冷

工作温度, OC

 0...+40

 0...+40

 +10...+40

质保工作时间, h

 500

 1000

 500

产品简介:

氮分子激光器的发射带在UV波段,主要是337.1nm 357.7 nm315.9 nm
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器,由于其独特的性能(波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W),被广泛应用于微电子领域如 光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亚微米量级的元件。此外,还被用于多种感光材料的高效曝 光光源。

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