| 测量尺寸(圆形-直径) | 光瞳调焦范围 |
|---|---|
| 102mm | ≥±1.5米 |
能够测量的工件
直径 < 600 mm
粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件
超快速、超高精度的表面形貌三维成像
通过光路扩展, 测量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件
通过CGH补偿器, 测量复杂曲面
黑色或透明工件, 仍然能够测量
适合半导体应用的MST(多表面测量) 一次采集, 同时完成上表面、下表面、厚度的计量。
适合半导体应用的jue对测距干涉，量程 > 100 μm 可进行台阶、翘曲度、热变形的测量。
出色的动态范围， 超过100条干涉条纹, 仍然可以分析。
将 FEA（有限元分析）引入干涉仪结构设计
根据文献, 干涉计算对 0~120 Hz 的振动敏感。 因此, 我们将机械结构的 7 阶模态设计到 127 Hz， 大大降低了机械结构对振动的敏感性
超高重复精度
对一片 250mm 直径的平晶进行 1000 次连续测量。
PV 值的重复精度为 5.7 纳米 (1/111 λ）
RMS 值的重复精度为 0.38 纳米 (1/1666 λ）
VICT Dop模式,数据未经人为修改
选件
VICT High 超高精度 测量模式
支持到0.1纳米 ( 1/6330 λ）RMS重复精度 和1纳米（1/633 λ）PV重复精度， 对环境扰动进行建模分析, 包括振动、气流、光场在内的负面影响排除。
没有使用多次测量取平均的方法, 不会导致被测物面型被“美化” 。
VICT Dop 多普勒抗振动测量模式
非常恶劣的工业环境下仍正常工作，所有模式中zui高的测量效率， 允许不使用隔振平台。
蒙版跟踪
超分辨三维图
清洁度分析
基础配置
主机 | 型号 | 测量尺寸(圆形-直径)(注1) | 立式使用 | 卧式使用 |
Type100 | 102mm | OK | OK | |
Type150 | 152.4 mm | OK | OK | |
Type250 | 250mm | OK | OK | |
Type340 (注2) | 340mm | OK | OK | |
Type450 | 457.2 mm | x | OK | |
Type600 | 609.6 mm | x | OK | |
注1:在80%直径以内使用时,可以获得更好的测量效果。 | ||||
激光测距点数 | 标准 | 692,224 | ||
高清 | 2,663,424 | |||
高速 | 186,623 | |||
超高速 | 692,224 | |||
测量激光 | 激光器类型 | 波长(nm) | 8h波长稳定度(nm)(注1) | 寿命(h)(注2) |
稳定氦氖 | 632.8 | 0.0005 | 20,000 | |
稳定半导体(注3) | 633 | 0.02 | 50,000 | |
高效氦氖 | 632.8 | 0.1 | 20,000 | |
高效半导体(注4) | 635 | 6 | 5,000 | |
注1:在恒温,隔振的实验室测试。 | ||||
计算机 | CPU | 独立显卡 | 显示屏 | 操作系统 |
Intel 12代i712核心 | NVIDIA Quadro | 2k分辨率 | Win10 | |
测量软件 | Victsir软件模块 | 扫描方式 | 单平面干涉(注1) | 双平面干涉(注2) |
Victsin Static (注3) | 无 | OK | X | |
Victsin PSI | 压电振镜 | OK | X | |
Victsin MST | 波长调谐 | OK | OK | |
注1:适用于大部分工件。 | ||||
测量精度
jue对精度 注1 | Type 100~250 | Type 340 | Type 450~600 |
PV | 31.64 nm或1/20λ | 42.19 nm或1/15 λ | 63.28 nm或1/10λ |
RMS | 6.328 nm或1/100 λ | 8.437 nm或1/75λ | 12.66 nm或1/50 λ |
注1:jue对精度被定义为"参考镜的jue对精度"实际测量的jue对精度=jue对精度＋重复精度。 | |||
重复精度 | VICT-High | VICT-Low | VICT-Dop |
PV | 1 nm或1/633 λ | 3 nm或1/211λ | 10或1/63λ |
RMS | 0.1nm或1/6330 λ | 0.3 nm或1/2110 λ | 1 nm或1/633λ |
注1:实际精度与测量环境有关，zui高精度与VICT-High相同,表格内数值考虑了轻微的环境扰动。 | |||
PV值是 Peak to Valley （峰值与谷值的差值 ）
RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状，大多使用PV值来表示。
例如：面型精度的PV值是1/4λ时，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm
重复精度定义
连续100次测量的允差 (95%置信度)
测试环境
样品放置于气浮隔振桌.上,样品距离参考镜100mm,光路被遮光罩包裹,房间内空调关闭，以避免气流扰动。
被测物
直径小于参考镜的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。
可靠性与环境要求
硬件可靠性 | 平均无故障工作时间>1000小时 | |
软件可靠性 | 平均连续无故障工作时间>12小时/天 | |
对准角度允差 | ± 3° | |
光瞳调焦范围 | ≥±1.5米 | |
运输和贮存 | 温度 | +10~+40 °c |
湿度 | RH≤60% | |
工作条件 | 温度 | +20~+25℃ |
温度变化 | ≤±1℃ @24小时 | |
湿度 | RH≤50% | |
电压 | AC 220V,50 Hz,1.5kW | |
三维成像原理
面型干涉是目前最主流的光学表面计量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路
VICT 技术原理
无
