| Max. 可分析区域 |
|---|
| 25mm × 25mm |
图像 FFT & IFFT 处理
观察示例
IDT
FBAR
参数
振动检测方法 | 基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz) |
振动观察法 | 用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动) |
观测光源 | 二极管激光器(波长:650nm典型)，照明LED |
可用物镜 | ×20、×50、×100 物镜 |
可观察到的频率 | 500MHz ～ 6GHz (Typ.) |
驱动信号输入范围*1 | 500MHz～6GHz (-120dBM～＋15dBM) *2 |
Max. 可分析区域 | 25mm × 25mm |
容许工作量 | Max. 8英寸晶圆片 |
样品台 | 电动X-Y型载物台 |
主要软件功能 | 基于采样阶段控制的预设区域扫描观测 |
2维 ⇔ 3维观察结果指示(in Movie) | |
二维FFT⇔FFT图象处理 | |
基于FFT结果的特定振动共振模式滤波 | |
面外轴倾角校正 | |
基于预设频率表的连续数据采集 | |
构造 | 主体/电气单元/信号发生器/锁相放大器/级驱动器/ PC /软件 |
*1 提供高频探测装置。(手动探测) *2 提供输入信号放大器。 | |
无
