| 行程 | 定位精度 | 运动分辨率 |
|---|---|---|
| X 450mm；Y 450mm ；T 360 | 3um | 100nm |
型号 | XYT450M | ||
轴 | X | Y | T |
行程 | 450mm | 450mm | 360 |
负载1 | 10kg | ||
定位精度 | 3um | 3um | |
重复定位精度(3σ) | 2um | 2um | ±3arcsec |
运动分辨率2 | 100nm | 100nm | 0.0005deg |
最大速度3 | 1000mm/s | 1000mm/s | |
最大加速度3 | 2g | 1g | |
水平方向直线度 | 3um | 3um | 径跳10um |
竖直方向直线度 | 3um | 3um | 轴跳10um |
XY正交 | 10arcsec | ||
平台质量 | 约1000kg | ||
*1 欢迎与厂家工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
*2 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率。
*3 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度。
*XYT450 精密运动系统可定制 Z 轴、基座等
无
