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无掩模光刻系统Smart Printer UV
无掩模光刻系统Smart Printer UV
Smart Print UV是一款基于μLCD投射技术的无掩模光刻技术。Smart Print UV适用于大多数的感光胶和基底,因此可以产生任何微米级分辨率的2D形状而无需实体的掩模版。
产品特点:打印分辨率低至15μm、 通过更换物镜,可以调节打印大小尺寸和分辨率、 可以兼容CAD格式文件和bitmap图像、 可以通用g line感光胶、 适合于大多数基底材料,硅,玻璃,金属,塑料、 适合于Max. 5‘’英寸的衬底盘片、 带CCD视觉系统以方便各个步骤调试
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Smart Printer UV
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核心参数
Max. 直写区域
70 x 70 mm2
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