极紫外（EUV）光刻机已成为高端芯片大规模量产和工业化不可或缺的设备，目前仅有荷兰ASML公司能够制造但对中国禁售。EUV光刻机中最核心的分系统是激光等离子体（LPP）EUV光源，其研发的主要挑战之一是提高激光到13.5 nm EUV光的能...
双光梳光谱技术(DCS)是基于光学频率梳发展出的新型主动光谱探测技术，具有集高分辨率、高灵敏度、宽光谱覆盖与快速采集于一身的优点，备受人们青睐。近年来，DCS技术发展迅速，新原理、新方法、新技术和新应用相继涌现，展现出了广阔的应用前景。...
封面展示了水导激光耦合能束的形成过程与加工状态。准直后光束经过聚焦镜聚焦，穿过玻璃窗口进入高压耦合水腔，在喷嘴处与微细水射流耦合，形成耦合能束并射出。在耦合能束内部，水射流基于全反射原理限制激光的轴向传输。...
【资讯】铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池 | Nature Energy
铜锌锡硫硒化物(Cu2ZnSn(S,Se)4.简称CZTSSe)薄膜太阳能电池因其环保、低成本和高稳定性而受到广泛关注。纯硫化物Cu2ZnSnS4(CZTS)是基于硒的kesterite材料中的重要分支。通过合金化金属元素(如Cd、Ge或A...
利用皮秒激光的高峰值功率和超短脉冲以及贝塞尔光束长焦深的特点，通过控制单脉冲能量和脉冲改性间距，实现了化学强化玻璃的自动断裂分离，提升了化学强化玻璃切割的速度与质量。...
【资讯】多波长多波束高光谱激光雷达助力解析云-气溶胶物理性质
单频激光技术提出了多波长多波束高光谱分辨率星载测云激光雷达方案及其仿真情况。在多波束形成的幅宽内，从紫外、可见到红外多波段视角透视小尺寸云粒子、气溶胶的微物理性质，这契合新一代测云激光雷达的探测需求。...
【资讯】超细纳米孪晶金刚石块材 | Nature Synthesis
近日，燕山大学实验室高压科学中心田永君院士团队联合南京理工大学、宁波大学的研究人员在超硬材料领域实现重大突破：成功合成出硬度达276 GPa的超细纳米孪晶金刚石块材，刷新了材料硬度的世界纪录。相关研究以“Enhancing the hard...
【原创】纳米超紧凑型外腔集成可调谐激光器组件（Nano-ITLA）
筱晓(上海)光子技术有限公司(以下简称“筱晓”)开发新的超级C波段和L波段应用，扩展了其用于光数字相干通信的激光光源产品--超小型窄线宽波长可调光源(Nano-ITLA)的产品阵容，从而扩展了传统C波段的带宽...
光刻机是目前集成电路芯片制造的必备工具，照明系统是光刻机的核心分系统之一，为掩模面提供均匀照明、控制曝光剂量并实现不同的照明模式。其中，匀光单元用于实现照明均匀化，其设计直接影响照明系统乃至光刻机的性能。...
【资讯】DFB激光器已经成为波分复用(WDM)系统的重要光源
在半导体激光器家族中，半导体分布反馈(DFB)激光器因其优异的光谱特性与调制特性，已经成为通信系统中最为重要、使用最为广泛的光源之一。DFB激光器的概念和理论最早由美国贝尔实验室的H. Kogelnik 和C. V. Shank于1971-...
近日，中国科学院安徽光机所张天舒研究员团队，在高能量激光器核心组件研发领域取得突破，成功开发出基于大尺寸板条状β－BBO晶体的低应力电光开关，并将其成功应用于Nd：YAG混合腔Innoslab激光器系统，实现了两种泵浦模式下的高性能脉冲激光...
【资讯】低功耗薄膜铌酸锂微环声光调制——光波共振“遇见”声波 | 前沿进展
集成声光子技术在经典与量子信息转换间架起了互通的桥梁，是光子集成回路领域的新兴方向，近些年备受关注。高效的微波-光波转换对于微波信号处理、量子比特传输和光机械传感等应用至关重要。片上集成声光调制器作为实现这一转换的关键元件，其性能主要依赖于...
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