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等离子体光源

概述

1、基本定义

一种通过气体放电或激光激发电离气体(如氙、氩、汞蒸气)产生高温等离子体,从而辐射紫外、可见光及红外波段连续/线状光谱的光源装置,兼具高亮度(>10⁴ cd/m²)、宽光谱覆盖和快速响应特性,专为高端照明、光刻机和光谱校准设计。

2、核心特点

利用等离子体态物质(电子-离子混合体)的辐射跃迁,实现从深紫外(<200 nm)到近红外的宽谱发射(线谱+连续谱),功率密度可达kW/cm²级且响应速度达μs级,但需高压驱动(kV)和冷却系统,成为半导体光刻、太阳模拟器和科研标定的高能辐射源。

Daisy

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等离子体光源

ISTEQ的XWS-30光源产品是专门为那些需要低散热,同时保持等离子体亮度高的超紧凑宽带光源的客户开发的 (可以自由空间或光纤传输) 在XWS光源中,等离子体发光是由于来自激光的连续能量输入和所用气体介质(光放电)之间的相互作用,这些光源 已被开发为传统气体放电灯(氙气、氘、钨等)和led的替代品,相比之下,XWS光源具有更宽的光谱范围和更高的光谱亮度。

产品信息产品型号 光谱范围输出功率 操作

XWS-X 宽带等离子体光源 XWS-X 190 - 2500nm1.5W 加入询价单

XWS-65 宽带等离子体光源 XWS-65 190 - 2500nm1.8W 加入询价单

XWS-30 紧凑型宽带等离子体光源 XWS-30 190 - 2500nm1W 加入询价单

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极紫外光源

EUV 光源高占空比和交钥匙操作(用户友好且具有自动化协议,确保系统平稳运行,无风险和中断)

产品信息产品型号 激光平均功率脉冲重复率等离子体稳定性 操作

TEUS S-400 极紫外光源 TEUS S-400 400W100kHz或200kHz(可调)3% RMS 加入询价单

TEUS S-200 极紫外光源 TEUS S-200 200W50kHz或135kHz(可调)3% RMS 加入询价单

TEUS S-100 极紫外光源 TEUS S-100 100W25kHz或70kHz(z高)3% RMS 加入询价单

TEUS S-400 极紫外光源 TEUS S-400 400W100kHz或200kHz(可调)3% RMS 加入询价单

TEUS S-200 极紫外光源 TEUS S-200 200W50kHz或135kHz(可调)3% RMS 加入询价单

TEUS S-100 极紫外光源 TEUS S-100 100W25kHz或70kHz(z高)3% RMS 加入询价单

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EUV光源与泵浦-探测系统

总览 Moonlander 高次谐波发生(HHG)是一个高效的相干EUV光源,适用于时间分辨光谱学,如角分辨光电子能谱(ARPES)。借助我们高功率激光技术,Moonlander 高次谐波发生(HHG)在紧凑且坚固的设计中提供高光子通量和高重复频率。

产品信息产品型号 光子能量波长 操作

EUV光源与泵浦-探测系统 Moonlander HHG-21 21 eV59 nm 加入询价单

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