1、基本定义

超稳精密光学定位系统，通过主动温控与低热膨胀材料（如因瓦合金）的协同设计，为纳米级光学实验（如干涉测量、量子光学）提供亚纳米级热稳定性与机械稳定性的核心解决方案。

2、核心特点

集成主动温控、低热膨胀材料（如因瓦合金）与被动隔振设计，实现亚纳米级（<0.1nm RMS）位移稳定性，适用于极端环境下的超精密光学研究。