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扫描探针显微镜

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扫描开尔文探针

扫描开尔文探针（SKP）是一种基于振动电容原理的非接触式表面分析技术，主要用于测量导体、半导体及绝缘体表面的功函数或表面势分布，具有无损、高灵敏度等特点。

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