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音圈挠性扫描仪

概述

筱晓光子推出的音圈挠性扫描仪,一种基于音圈电机驱动与弹性铰链导向的精密偏转系统,通过无摩擦挠性结构实现毫弧度级(±5mrad)光束偏转或样品扫描,兼具kHz级响应速度与纳米级定位稳定性(如±10nm),适用于共聚焦显微、激光直写等需高速高精度动态扫描的场景。

零回差弹性传动、高线性度(>99.9%)与抗干扰闭环控制,兼具大角度范围(±20°)和亚微米级重复性,突破传统轴承的磨损与振动限制。

Moli

电话:13061644116

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