1、基本定义

一种基于音圈电机驱动与弹性铰链导向的精密偏转系统，通过无摩擦挠性结构实现毫弧度级（±5mrad）光束偏转或样品扫描，兼具kHz级响应速度与纳米级定位稳定性（如±10nm），适用于共聚焦显微、激光直写等需高速高精度动态扫描的场景。

2、核心特点

零回差弹性传动、高线性度（＞99.9%）与抗干扰闭环控制，兼具大角度范围（±20°）和亚微米级重复性，突破传统轴承的磨损与振动限制。