1、基本定义

一种基于高速偏转镜（如检流计或MEMS镜）的激光光束定向控制装置，通过电磁或压电驱动实现毫弧度级（±0.1mrad）光束偏转与kHz级扫描频率，适用于激光打标、激光雷达（LiDAR）及精密加工等动态光束操控领域。

2、核心特点

微秒级响应（＜100μs）、高精度角度定位（±5μrad）与闭环反馈控制，兼具二维/三维扫描协同及抗高功率激光损伤（＞10kW/cm²）特性，满足工业级高速光束调制需求。