1、基本定义

为光学平台提供洁净环境的密封装置，通过HEPA过滤器产生垂直或水平层流（风速0.3-0.5m/s），达到ISO 5级洁净度。其框架为铝合金或不锈钢，侧面采用透明亚克力板便于观察，适用于纳米加工、生物光学等对颗粒敏感的实验。

2、核心特点

局部百级洁净环境与低湍流，但需定期更换过滤器并控制噪音（＜55dB）。