1、基本定义

专用于构建或维护真空系统的标准化功能部件（如法兰、阀门、密封件等），通过材料与结构的特殊设计确保高气密性，满足从低真空（10⁻³ mbar）到超高真空（10⁻¹¹ mbar）不同环境的需求。

2、核心特点

材料出气率极低与结构泄漏率可控，通过表面处理（如电解抛光）和密封技术（如金属密封）在宽压力范围内维持系统完整性。