1、基本定义

一种利用压电陶瓷的惯性冲击原理实现步进式纳米定位的装置，其真空兼容版本通过无润滑材料与密封设计，可在低至10^-6 mbar的真空环境中稳定工作。

2、核心特点

无发热、无出气的干式驱动机制，通过压电致动器与摩擦耦合的巧妙设计，在真空环境下实现毫米行程与纳米级定位的统一。