光刻机是目前集成电路芯片制造的必备工具,照明系统是光刻机的核心分系统之一,为掩模面提供均匀照明、控制曝光剂量并实现不同的照明模式。其中,匀光单元用于实现照明均匀化,其设计直接影响照明系统乃至光刻机的性能。...
封面展示了水导激光耦合能束的形成过程与加工状态。准直后光束经过聚焦镜聚焦,穿过玻璃窗口进入高压耦合水腔,在喷嘴处与微细水射流耦合,形成耦合能束并射出。在耦合能束内部,水射流基于全反射原理限制激光的轴向传输。...
为了在腔内获得涡旋结构光,研究人员初期在谐振腔内插入金属细丝,获得高纯度的一阶厄米-高斯光束,此后将各种调制器件插入谐振腔内,例如螺旋相位板、光阑、声光调制器、液晶q平板和液晶空间光调制器等。...
近日,中国科学院安徽光机所张天舒研究员团队,在高能量激光器核心组件研发领域取得突破,成功开发出基于大尺寸板条状β-BBO晶体的低应力电光开关,并将其成功应用于Nd:YAG混合腔Innoslab激光器系统,实现了两种泵浦模式下的高性能脉冲激光...
双光子激光直写是一种新兴的微纳加工手段。该技术利用飞秒激光使光刻胶在激光焦点位置发生双光子聚合,特征尺寸可达百纳米级,结合压电位移台或激光扫描器件可实现高精度任意三维结构制备。目前,该技术已被广泛应用在微纳光学、材料、生命科学、微流控、微机...
硅光子学是一项快速发展的技术,有望彻底改变通信、计算和感知世界的方式。然而,缺少高度可扩展的、原生互补金属氧化物半导体(CMOS)集成光源是阻碍广泛应用的主要因素之一。尽管在硅上混合与异质集成III–V族光源,取得了相当大的进展,但通过直接...
从蛋白质基序motifs到黑洞,拓扑孤子topological solitons是普遍存在的非线性激发,是鲁棒的,并且可以由外场驱动。到目前为止,现有的驱动机制都是以相反的方向加速孤子和反孤子。...
空间光调制器,飞秒激光器,飞秒激光,飞秒激光双光子聚合技术能够以亚微米精度直接打印出复杂构型的三维微纳结构,然而传统双光子聚合技术采用逐点扫描的加工策略,加工速度低,难以实现三维微结构的高效制备。...
基于全光纤光源及自由空间脉冲压缩器的光纤啁啾脉冲放大技术(FCPA)常常用来获取高功率飞秒脉冲激光输出,同时,基于非线性频率变换技术的新型超短脉冲光纤光源的发展也为1μm波段飞秒脉冲激光的研制提供了新的思路。...
与电子相比,光子之间几乎没有干扰,不同波长、偏振、模式的光子可用于多路同时通信,因此以光为载体的信息传输系统具有更大的带宽和更高的速率。将微电子技术的信息处理能力、光电子技术的信息传输能力以及CMOS大规模集成能力相结合,硅基光电子技术已被...
【资讯】GaAs基高功率半导体激光器十年进展——从百瓦芯片到千瓦模块
半导体激光器,固体激光器,激光器,封面展示了GaAs 基高功率边发射半导体激光器泵浦固体、气体和光纤激光器的场景。半导体激光器中的电子和空穴在量子阱结构内高效复合产生光子,经谐振腔完成光模场调控,实现高功率、高效率、高亮度的激光输出。工业化...
【资讯】集成光子芯片-钙钛矿/Si3N4 | Nature Photonics
在光通信、计算、光探测和测距、传感和成像方面,集成光子芯片具有巨大的应用潜力,可提供卓越的数据通量和低功耗。关键目标之一是建立单片的片上光子系统,将光源、处理器和光电探测器集成在一个芯片上。...