【资讯】0.44埃！显微镜分辨率新纪录！| Science

长期以来，亚埃级电子显微分辨率一直局限于像差校正电子显微镜，它是理解物质的原子结构和性质的有力工具。

近日，美国伊利诺伊大学香槟分校(University of Illinois Urbana–Champai)Kayla X. Nguyen，Chia-Hao Lee，Pinshane Y. Huang等，阿贡国家实验室(Argonne National Laboratory)Yi Jiang等，在Science上发文，报道了未校正扫描透射电子显微镜scanning transmission electron microscope (STEM) 中的电子相干衍射成像，其深亚埃空间分辨率低至0.44埃，超过了像差校正工具的常规分辨率，并与它们的最高图像分辨率相媲美。

Achieving sub-0.5-angstrom-resolution ptychography in an uncorrected electron microscope在未校正的电子显微镜中，获得低于0.5埃分辨率的图像。

图1. 未校正和畸变校正的STEMs中扭曲双层WSe2的ADF-STEM

图2. 未校正显微镜下扭曲双层WSe2

图3. 亚埃分辨率的电子相干衍射模拟

图4. 利用像差技术优化电子相干衍射探针

　    在广泛使用的商业显微镜中，演示了二维转角材料，远远超过了先前未校正的STEM分辨率(1到5埃)。还进一步展示了几何像差如何为剂量有效的电子成像创造优化的结构光束。研究表明，对于深亚埃分辨率，不再需要昂贵的像差校正器。

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参考文献： 中国光学期刊网

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