640B绝对压力控制器(100 Torr，200 sccm，4 VCR-M，Viton 密封件，Viton 阀塞)

640B和641B压力控制器是独立、紧凑的闭环电子压力控制系统。每个都包含一个电容式压力计、常闭比例控制阀和闭环控制电子设备。640B控制绝对压力；641控制表压（相对于环境大气压的压力）。两种传感器均为Baratron®电容式压力计，满标度压力范围为100 psi至10 Torr。