产品特点数字微镜技术；全自动对焦与套刻；灰度光刻；无拼接动态曝光；紧凑型洁净设计
产品货号H80050012
应用领域微流控芯片加工 | MEMS器件制造 | 生物传感器制备 | 光学衍射元件 | 科研与教学实验
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Daisy
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波长 分辨率
365nm 1.0um
MCML-110A | MCML-120A | |
Wavelength 波长 | 365nm | 365nm |
Max. frame 最大帧 | 100mm x 100mm | 100mm x 100mm |
Resolution 分辨率 | 1.0um | 500nm |
Grayscale lithography 灰度光刻 | 64 levels | 128 levels |
Max exposure 最大曝光量 | 500mJ/cm2 | 2000mJ/cm2 |
Alignment accuracy 对准精度 | <200nm | <100nm |
field curvature 场曲率 | < 1 um | < 1 um |
Speed 速度 | 5mm2 /sec | 2.5mm2 /sec |
Input file 输入文件 | BMP, GDSII | BMP, GDSII |
Z level accuracy Z级精度 | <1 um | <1 um |
Environment 环境 | 20~25℃ | 20~25℃ |
样品
（SU8-2002, 2um胶厚，2寸硅基底）
无
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