248.6 nm 激光线带通滤光片是一款专为 248.6 nm KrF 准分子激光器设计的高性能窄带干涉滤光片。产品采用高品质熔融石英（Fused Silica）基片及多层硬质介质膜镀膜工艺，在248.6 nm激光波长处具有较高透过率，同时对通带两侧杂散光具有优异的截止能力，可有效提高系统信噪比。该产品广泛应用于准分子激光系统、半导体光刻、紫外拉曼光谱、荧光检测、紫外成像及科研仪器等领域。
产品特点专为248.6 nm KrF准分子激光器设计;中心波长精准，适用于单激光谱线’半峰全宽（FWHM）仅1.7 nm;通带外最高截止深度可达 OD6;硬质介质镀膜，环境稳定性高;熔融石英基片，紫外透过性能优异
型号MP-LLF-248
应用领域KrF准分子激光系统 | 半导体光刻设备 | 紫外激光加工设备 | 激光诱导荧光（LIF） | 紫外拉曼光谱仪
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Daisy
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激光波长 边缘波长 入射角
248.6nm 无 0 ± 2°
技术规格表
规格 | 数值 |
激光波长 | 248.6nm |
透射带 | T > 40% 248.6 nm |
截止带 | ODabs > 5 228.2-246.1 nm |
截止带 | ODabs > 6 228.7- 244.9 nm |
截止带 | ODabs > 6 252.3-273.5 nm |
截止带 | ODabs > 5 251.1-279.9 nm |
半高全宽 | 1.7 nm |
保证最小带宽 | 仅保证激光波长处的透射率 |
入射角 | 0 ± 2° |
通光孔径 | ≥ 10 mm |
横向尺寸（直径） | 12.5 mm |
滤光片厚度（带安装） | 3.5 mm |
滤光片厚度公差（带安装） | ± 0.1 mm |
滤光片厚度（不带安装） | 2.0 mm |
滤光片厚度公差（不带安装） | ± 0.1 mm |
表面质量（划痕-麻点） | 60-40 |
滤光片有效折射率 | 1.77 |
光学损伤阈值 | 0.1 J/cm² @ 532 nm（10 ns 脉宽） |
方向 | 环上箭头表示推荐的光传播方向 |
基底材料 | 熔融石英 |
光谱特性曲线图
透过率—波长曲线
光密度光谱图
无
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