高重频紫外、深紫外皮秒激光器是一款面向半导体检测、精密光谱分析及微细加工应用开发的科研级超快激光光源。产品提供 266 nm深紫外及 355 nm紫外两种输出波长，脉冲宽度为 10 ps，重复频率最高达到 120 MHz。高重复频率输出可满足半导体检测等场景对高频稳定激光光源的需求。
产品特点120 MHz高重复频率；266 nm深紫外波长；10 ps超短脉冲；优异的光束质量；长寿命设计
型号MP-DUV-PL-266-4
应用领域半导体材料表面检测 | 激光诱导击穿光谱 | 激光诱导荧光 | 紫外拉曼光谱仪
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Daisy
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波长 平均功率 重复频率
266 nm ≥4W 120 MHz
参数 | 指标 |
典型波长 | 266 nm |
重复频率 | 120 MHz |
脉冲宽度 | 10ps |
平均功率 | ≥4 W |
光束质量 M² | ＜1.3 |
偏振消光比 | ＞100:1 |
出口光斑直径 | 3 mm |
出口光束发散全角 | <0.25 mrad |
平均功率稳定性 | RMS＜1% |
冷却方式 | 水冷 |
产品测试结果
典型光束质量
典型光斑
高功率RMS功率稳定性测试结果
无
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