CW 266 nm DUV激光器频率系列是由深紫外(DUV)波长(266 nm)连续波(CW)单频波长转换激光器组成，已有20多年的历史。 OXIDE高度可靠的波长转换晶体和通过专有的高速伺服锁定技术实现的精密音圈电机（VCM）实现了稳定的连续激光操作. 根据所需的输出，有三种类型（Frequency HP、Frequency-M和Frequency-C）可供选择. Frequency-W是一款新推出的213 nm波长型号，通过内置的波长转换晶体和266 nm Frequency系列开发的伺服锁定技术，可产生稳定、长寿命的连续激光操作。
产品特点深紫外（DUV）输出；单频窄线宽；高功率稳定性；高光束质量；全固态设计
产品货号A80100054
应用领域半导体光刻 | 精密光谱与计量 | 量子技术 | 材料加工与科研 | 生物与医学
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Daisy
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中心波长 输出功率 线宽
266nm 20-50mW < 0.005 pm
型号 | Frequad-HP | Frequad-M | Frequad-C | Frequad-W |
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波长 | 266 nm | 266 nm | 266 nm | 213 nm |
输出功率 | 1 - 2 W | 0.3 - 1 W | 20 - 50 mW | 10 mW |
线宽 | < 0.005 pm | < 0.005 pm | < 0.005 pm | < 0.005 pm |
消光比 | > 100:1 | > 100:1 | > 100:1 | > 100:1 |
光束质量 | TEM00, M2 < 1.2 | TEM00, M2 < 1.2 | TEM00, M2 < 1.3 | TEM00 |
偏振 | Vertical, Linear | Vertical, Linear | Vertical, Linear | Vertical, Linear |
电源 | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz |
功耗 | < 300 W | < 340 W | < 70 W | < 300 W |
冷却 | Air | Water | Air | Air |
尺寸（头） | 240 x 840 x 160 mm | 350 x 590 x 124 mm | 153 x 202 x 79 mm | 240 x 840 x 160 mm |
特点选项等 | • 可提供部分维护(UV单元，基本激光器) • 无水冷 | • 可提供部分维护(UV单元，基本激光器) | • 无水冷 • 无空气净化 | • 可提供部分维护(UV单元，基本激光器) • 无水冷 |
无
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