产品特点极紫外波段；高亮度等离子体；精密光谱控制；真空兼容设计；模块化结构
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应用领域半导体光刻 | 掩模检测 | 表面物理研究 | 同步辐射替代 | 空间探测
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Daisy
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激光平均功率 脉冲重复率 等离子体稳定性
100W 25kHz或70kHz(z高) 3% RMS
主要技术参数
型号 | TEUS S-100 |
激光平均功率 | 100W |
脉冲重复率 | 25kHz或70kHz(z高) |
可收集EUV功率的立体角 | 0.05sr |
等离子体尺寸*µm | ≤ 60 or ≤ 40 |
带内辐射转换效率(13.5 nm±1%) | 2 % @2π·sr 或 1.6% @2π·sr |
ЕUV碎片缓减系统后带内通量收集角(13.5nm±1%) | 11 mW 或9 mW |
碎片缓减系统后带内光谱亮度(13.5nm±1%)，W/mm2·sr | ≥ 80W/mm2·sr或≥ 140 W/mm2·sr |
等离子体稳定性 | 3% RMS |
系统寿命和维护要求
型号 | TEUS S-100 |
在24/7运行模式下，不使用特殊膜过滤器，收集器寿命降解10% | 不少于8个月 |
在24/7运行模式下，使用特殊膜过滤器，收集器寿命降解10% | 不少于18个月 |
每次维护时间: | 4个月- 1天 |
正常运行时间在24/7运行模式*** | 4个月 |
电力，系统尺寸和重量
型号 | TEUS S-100 |
电功率 | 6.5 kW |
尺寸（L×W×H） | 1500×1000×1200 mm |
重量，包括激光部件 | 770 公斤 |
设备需求
型号 | TEUS S-100 |
房间清洁度等级 | ISO7 |
水流速率 | 10升/分钟 |
无
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