极紫外光源
Daisy
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极紫外光源
EUV 光源高占空比和交钥匙操作（用户友好且具有自动化协议，确保系统平稳运行，无风险和中断）
产品信息 激光平均功率脉冲重复率等离子体稳定性 操作
TEUS S-400 极紫外光源
400W100kHz或200kHz(可调)3% RMS 加入询价单
TEUS S-200 极紫外光源
200W50kHz或135kHz(可调)3% RMS 加入询价单
TEUS S-100 极紫外光源
100W25kHz或70kHz(z高)3% RMS 加入询价单
TEUS S-400 极紫外光源
400W100kHz或200kHz(可调)3% RMS 加入询价单
TEUS S-200 极紫外光源
200W50kHz或135kHz(可调)3% RMS 加入询价单
TEUS S-100 极紫外光源
100W25kHz或70kHz(z高)3% RMS 加入询价单
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