Z030 音圈电机模组运动台
产品特点高精度定位；快速响应；无摩擦运动；长寿命设计；紧凑结构
型号MP-MPF-Z030
应用领域精密光学对准 | 激光加工定位 | 显微成像系统 | 半导体检测 | 自动化设备
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Moli
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行程 运动分辨率 精度
30mm 20nm 1.0μm
型号 | Z030 |
行程 | 30mm |
运动分辨率 *1 | 20nm |
装载质量 *3 | 1-4.4kg |
最大加速度 *2 | 1g |
最大速度 *2 | 100mm/s |
精度 | 1.0μm |
重复定位精度(3σ) | 0.5μm |
直线度 | 2μm |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计，可实现不同的运动分辨率。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计，可实现不同的速度和加速度。
*3 装载质量范围根据配重弹簧选择。
*4 欢迎与工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
无
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