• XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台

    XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台

    产品特点可堆叠模块化设计;高精度步进电机驱动;紧凑结构;手动/电动可选;低背隙

    产品货号E80100037

    应用领域显微成像系统 | 激光加工定位 | 半导体检测 | 自动化设备 | 精密光学调整

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    Moli

    电话:13061644116

    邮箱:moli@microphotons.com

    主要参数
  • 核心参数
  • 行程 运动分辨率

    50mm 0.2μm

  • 尺寸图
  • 详细参数

    型号

    XC050BS

    行程

    50mm

    运动分辨率 1

    0.2um

    重量 3

    6.5kg

    最大加速度 2

    0.1g

    最大速度 2

    50mm/s

    精度典型值(保证值)

    ±0.5(±1.5)um

    重复定位精度(3σ)典型值(保证值)

    ±0.3(±1.0) um

    水平方向直线度典型值(保证值)

    ±0.5(±1)um

    垂直方向直线度典型值(保证值)

    ±0.5(±1.5) um

    *1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率,欢迎垂询。

    *2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度,欢迎垂询。

    *3 欢迎与工程师团队交流具体参数要求,优化高精密运动平台设计。

    可选配置表

    产品资料

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