压电驱动器

概述

1、基本定义

一种利用压电材料(如PZT陶瓷)逆压电效应,将电能直接转换为纳米级机械位移的致动装置,通过电压控制实现亚埃级(0.1nm)精密运动,适用于超精密定位、主动光学补偿等尖端领域。

2、核心特点

超高频响(kHz级)、原子级分辨率(0.1nm)与零电磁干扰,兼具无摩擦、免维护设计,但需闭环控制(如应变片/电容反馈)克服非线性迟滞。

Moli

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