
压电芯片和堆栈
1、基本定义
压电芯片是一种基于压电材料(如PZT、石英)的微型化功能器件,通过逆压电效应将电信号转换为微米/纳米级机械形变(或反之),用于传感、驱动或能量采集;压电堆栈则是多层压电陶瓷的串联结构,通过电压驱动实现累积式大行程(如100μm)线性位移输出,兼具高推力(>1000N)与纳米级定位能力。
2、核心特点
压电芯片的核心是微型化机电耦合(如MEMS超声换能器),而压电堆栈的核心是高压驱动下的累积位移放大(如0.1%应变率),二者均需高精度电场控制以克服迟滞/蠕变,适用于半导体键合、自适应光学等超精密领域。
Moli
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