IXY100CA双轴中空运动平台
产品特点中空结构设计；高刚性滚柱导轨；光栅尺闭环反馈；高动态性能；模块化扩展
型号MP-MPF-IXY100CA
应用领域二维激光加工 | 激光直写 | 光学测量 | 自动显微镜 | 精密制造
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Moli
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邮箱：moli@microphotons.com
行程 精度
100mm 1.0μm
型号 | IXY100CA |
行程 | 100mm |
精度 | 1.0μm |
重复定位精度(3σ) | 0.5μm |
运动分辨率 *1 | AA: 10nm DS: 200nm |
最大速度 *2 | 200mm/s |
最大加速度 *2 | 0.5g |
水平方向直线度 | 2μm |
垂直方向直线度 | 2μm |
偏航角 | 15μrad |
俯仰角 | 50μrad |
装载质量 *3 | 10kg |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
无
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