MP-LS-10-8-0.05是一款集成式高精度音圈电机线性位移平台，专为纳米级定位和高速精密运动控制应用而设计。产品采用移动磁体音圈驱动技术，结合线性模拟编码器和交叉滚柱导轨，实现高分辨率、高重复精度和稳定的运动性能。平台内置运动控制器，可通过 RS-232 通信接口进行控制，支持 Zaber ASCII 通信协议，适用于科研实验、光学系统集成、半导体设备及精密自动化等应用场景。
产品特点音圈电机直接驱动，无机械传动间隙；集成运动控制器，简化系统集成；线性模拟编码器闭环反馈
型号MP-LS-10-8-0.05
应用领域半导体检测设备 | 光学精密定位 | 激光加工设备 | 显微成像系统 | 自动化测试平台 | 纳米定位系统 | 科研实验平台
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Sherry
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运动轴数 最大持续推力
1 轴 5 N
技术规格表
技术参数
参数 | 规格 |
运动轴数 | 1 轴 |
行程 | 10 mm |
最大连续推力 | 5 N |
峰值推力 | 15 N |
移动质量 | 0.18 kg |
整机重量 | 0.5 kg |
单向定位精度 | 8 μm |
重复定位精度 | <0.05 μm |
最小运动增量 | 10 nm |
编码器分辨率 | 1 nm |
最低运动速度 | 0.61 nm/s |
速度分辨率 | 0.61 nm/s |
电机类型 | 移动磁体音圈电机 |
力常数 | 2.23 N/A |
导轨类型 | 防蠕变交叉滚柱导轨 |
编码器类型 | 线性模拟编码器 |
内置控制器 | 是 |
通讯接口 | RS-232 |
通讯协议 | Zaber ASCII（默认） |
数据接口 | 锁紧式 M8 四针连接器 |
模拟输入 | 1 路 |
数字输入 | 2 路 |
数字输出 | 1 路 |
LED 状态指示 | 支持 |
电源输入 | 48 VDC |
电源接口 | 两针螺钉端子 |
工作温度 | 0～50 ℃ |
真空兼容 | 不支持 |
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