MP-VCS-12-4-0.5 是一款采用音圈直驱（Voice Coil Direct Drive）技术的高动态精密线性运动平台，配备1 nm 分辨率线性模拟编码器及交叉滚柱导轨，可实现高速度、高加速度及亚微米级定位精度。产品适用于半导体制造、精密光学调节、激光加工、生物医疗设备、科研仪器及自动化检测等高端运动控制领域。
产品特点高精度直驱音圈电机，无丝杆传动，无机械反向间隙；1 nm 编码器分辨率，实现纳米级位置反馈；交叉滚柱导轨，高刚性、高稳定性
型号MP-VCS-12-4-0.5
应用领域半导体设备 | 光学调整平台 | 激光加工设备 | AOI自动光学检测 | 晶圆检测 | 光纤耦合系统 | 科研实验设备
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Sherry
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运动轴数 最大持续推力
1 12 N
技术规格表
参数 | 数值 |
精度（单向） | 4 µm |
自动检测 | 是 |
运动轴数 | 1 |
内置控制器 | 无 |
CE认证 | 是 |
编码器计数分辨率 | 1 nm |
编码器类型 | 线性模拟编码器 |
力常数 | 12.6 N/A（2.8 lbs/A） |
导轨类型 | 交叉滚柱轴承 |
水平跳动 | < 5 µm |
LED指示灯 | 有 |
限位或原点感应 | 光学索引标记 |
最大加速度 | 245 m/s² |
最大中心负载 | 100 N |
最大持续推力 | 12 N |
最大速度 | 1400 mm/s |
机械驱动系统 | 动圈式，直接驱动 |
最小增量位移 | 200 nm |
最小速度 | 0.61 nm/s |
电机连接 | D-sub 26针 |
电机类型 | 音圈线性致动器 |
安装接口 | M6 和 M3 螺纹孔 |
运动质量 | 0.095 kg |
工作温度范围 | 0~50 °C |
峰值推力 | 26 N |
俯仰 | 0.01° |
推荐控制器 | 推荐 X-MCC（48 V） |
重复定位精度 | < 0.5 µm |
翻滚 | 0.01° |
速度分辨率 | 0.61 nm/s |
俯仰刚度 | 50 N·m/° |
翻滚刚度 | 70 N·m/° |
偏摆刚度 | 85 N·m/° |
行程范围 | 12 mm |
典型速度稳定性 | 带0.38 kg负载、10 mm/s速度下为 ±4.7% |
真空兼容 | 否 |
垂直跳动 | < 6 µm |
重量 | 0.8 kg |
偏摆（Yaw） | 0.01° |
定位精度曲线图
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