MP-DDS-12-4-0.5是一款高性能直驱线性位移台，采用Moving Coil（动圈式）音圈电机直接驱动技术，集成高精度线性模拟编码器和运动控制器，实现高速、高加速度及高精度定位控制。平台采用交叉滚柱轴承导向，具有优异的运动平稳性、刚性和重复定位性能，适用于高速扫描、精密检测、光学调整及半导体制造等领域。产品内置控制器，通过 RS-232 接口即可实现运动控制，无需外接驱动器，可快速集成至自动化设备和精密运动系统中。
产品特点动圈式音圈电机直接驱动；内置高性能运动控制器；集成线性模拟编码器
型号MP-DDS-12-4-0.5
应用领域高速光学扫描 | 激光加工与激光调焦 | 半导体晶圆检测 | 精密光学定位 | 显微镜自动扫描 | 科研实验平台 | 纳米定位及精密运动控制
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Sherry
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运动轴数 最大持续推力
1 12 N
技术规格表
参数 | 数值 |
精度（单向） | 4 µm |
运动轴数 | 1 |
内置控制器 | 是 |
CE 认证 | 是 |
通信接口 | RS‑232 |
通信协议 | Zaber ASCII（默认） |
数据线连接 | 带锁扣的 4 针 M8 |
数字输入 | 1 |
数字输出 | 2 |
编码器计数分辨率 | 1 nm |
编码器类型 | 线性模拟编码器 |
力常数 | 12.6 N/A |
导轨类型 | 交叉滚柱轴承 |
水平跳动 | < 5 µm |
LED 指示灯 | 是 |
限位或归位传感 | 光学索引标记 |
手动控制 | 是 |
最大加速度 | 245 m/s² |
最大中心负载 | 100 N |
最大持续推力 | 12 N |
最大电流消耗 | 1000 mA |
最大速度 | 1400 mm/s |
机械驱动系统 | 动圈式直驱 |
最小增量运动 | 200 nm |
最小速度 | 0.61 nm/s |
电机类型 | 音圈线性执行器 |
安装接口 | M6 和 M3 螺纹孔 |
动子质量 | 0.095 kg |
工作温度范围 | 0～50 °C |
峰值推力 | 26 N |
俯仰（Pitch） | 0.01° |
电源插头 | 2 针螺丝端子 |
电源电压 | 24～48 VDC |
重复定位精度 | < 0.5 µm |
滚动（Roll） | 0.01° |
速度分辨率 | 0.61 nm/s |
俯仰刚度 | 50 N·m/° |
滚动刚度 | 70 N·m/° |
偏航刚度 | 85 N·m/° |
行程范围 | 12 mm |
典型速度稳定性 | 在 10 mm/s 速度、0.38 kg 负载下，± 4.7% |
真空兼容 | 否 |
垂直跳动 | < 6 µm |
总重量 | 0.8 kg |
偏航（Yaw） | 0.01° |
单向定位误差曲线
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