1、基本定义

一种集成X/Y/Z三向独立运动模块的精密定位系统，通过手动微调或电动驱动（如步进/压电）实现三维空间内亚微米级（如±0.5μm）位移控制，适用于超精密加工、显微操作等需多维定位的场景。

2、核心特点

正交三自由度解耦运动、纳米级重复定位精度（如±0.1μm）与动态稳定性（抗振/抗倾覆），兼具刚体结构（如花岗岩基座）与多接口兼容性（如M4螺纹/C形槽）。