1、基本定义

一种集成三维平移（X/Y/Z）与双轴旋转（θx/θy或θz）的高自由度精密运动系统，通过机电驱动（如直线电机+力矩电机）实现纳米级定位（±0.1μm）与弧秒级角度调整（±1"），专为复杂光路校准、微纳加工等需多维度动态对准的场景设计。

2、核心特点

五自由度解耦控制、空间姿态精准拟合（如齐次变换算法）与动态误差补偿，兼具高负载（＞10kg）与多协议接口（如ROS/EtherCAT），支持亚微米级运动合成。