1、基本定义

一种集成X/Y/Z三轴线性移动及旋转轴（θ）的复合运动平台，通过精密机械或机电驱动（如伺服电机）实现三维平移（±1μm）与角度调节（±0.01°），适用于光路对准、晶圆检测等需多自由度协同定位的高端应用。

2、核心特点

四自由度独立/联动控制、跨尺度运动精度（纳米级平移+毫弧度级旋转）与动态刚性优化，支持模块化扩展（如顶部光学平台接口）及自动化集成（EtherCAT通信）。