四轴位移台

概述

筱晓光子推出的四轴位移台,一种集成X/Y/Z三轴线性移动及旋转轴(θ)的复合运动平台,通过精密机械或机电驱动(如伺服电机)实现三维平移(±1μm)与角度调节(±0.01°),适用于光路对准、晶圆检测等需多自由度协同定位的高端应用。

四自由度独立/联动控制、跨尺度运动精度(纳米级平移+毫弧度级旋转)与动态刚性优化,支持模块化扩展(如顶部光学平台接口)及自动化集成(EtherCAT通信)。

Moli

电话:13061644116

邮箱:moli@microphotons.com

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